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中國市場電鏡新品匯總 電子顯微鏡價格

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失效分析實驗室 半導體工程師 2022-01-11 09:40電鏡新品發布也迎來活躍一年，發布新品不僅低中高端產品基本覆蓋，大部分主流品牌皆有輸出，國產方面也多點開花 。
經歷2020年疫情籠罩，2021年全球電鏡市場規?；嘏幠Ｔ俅我詡€位數速率增長，作為最大需求單一市場國家，中國則實現20%以上增長 。電鏡新品發布也迎來活躍一年，發布新品不僅低、中、高端產品基本覆蓋，大部分主流品牌皆有輸出，國產方面也多點開花 。
以下對2021年在電鏡新品進行盤點，數據主要統計自本網報道或公開信息，如有遺漏、錯誤歡迎在留言區補充或郵件（yanglz@instrument.com.cn ） 。
2021年電鏡發布新品速覽（按發布時間順序）
類型
品牌
產品名稱
型號
描述
SEM

蔡司
新一代Gemini場發射掃描電鏡系列
GeminiSEM 360
GeminiSEM 460
GeminiSEM 560
高分辨，不挑樣
日本電子
肖特基場發射電鏡

JSM-IT800(i)/(is)
適用觀測半導體器件
聚束科技
高通量(場發射）掃描電鏡
Navigator-100B PLUS
國產高通量場發射升級款
祺躍科技
原位高溫掃描電鏡
-
國產原位高溫
日本電子

新型掃描電子顯微鏡
JSM-IT510
鎢燈絲電鏡升級
Phenom
臺式場發射掃描電鏡
Phenom Pharos G2
分辨率提至1.8nm
日立
兩款場發射掃描電子顯微鏡
SU8600
SU8700
聚焦自動獲取大量數據功能
國儀量子
場發射掃描電鏡
SEM5000
國產場發射掃描電鏡
TEM
日本電子
新一代冷凍電鏡
CRYO ARMTM 300II （JEM-3300）
速度、操作、通量全面升級
賽默飛
球差校正透射電鏡
Spectra Ultra
適合電子束敏感材料的球差電鏡
賽默飛
掃描透射電鏡
Talos F200E
為半導體行業設計
納鏡鼎新
高通量生物掃透電鏡
智眸365
(Smart View 365)
國產高通量生物掃描透射電鏡
聚焦離子束顯微鏡
賽默飛
雙束透射電鏡
Helios 5 PXL Wafer DualBeam
半導體雙束透射電鏡
其他




日本電子
超微電子衍射平臺
Synergy-ED
電鏡-x射線衍射平臺
賽默飛
定制球差校正電鏡
Spectra φ
定制球差電鏡
掃描電鏡：11款齊發，9款場發射！
掃描電鏡方面，場發射產品成為新品主流，蔡司和日立包攬5款場發射新品，日本電子發布場發射和鎢燈絲升級產品，飛納臺式場發射電鏡分辨率提升至1.8nm 。國產方面，聚束科技發布高通量場發射升級產品，國儀量子也加入場發射產品行列，祺躍科技則基于其原位力學技術，發布原位高溫掃描電鏡 。
蔡司|新一代Gemini場發射掃描電鏡系列
Gemini系列新品，左至右：GeminiSEM 360，GeminiSEM 460，GeminiSEM 560
發布時間：3月24日
參考價格：300-600萬元
蔡司此次發布的GeminiSEM 360，GeminiSEM 460，GeminiSEM 560是Gemini電子光學系統也針對不同的應用場景衍生出的三款新型號 。
GeminiSEM 360搭載1型Gemini鏡筒，是一款高通用性成像工具 。其物鏡為靜電透鏡+磁透鏡復合透鏡，在提高其電子光學性能的同時將它們對樣品的影響降至更低 。即使對極具挑戰的樣品也能進行高品質成像 。Beam booster技術具有鏡筒內的電子加減速功能，可確保獲得小束斑和高信噪比；Gemini鏡筒內帶有平行設計的鏡筒內二次電子和背散射電子探測器，可實現信號的高效采集，同步獲取形貌襯度和成分襯度像 。
GeminiSEM 460搭載2型Gemini鏡筒，專為應對復雜的分析工作而設計 。它除了復合透鏡和鏡筒內加減速設計以外，利用雙聚光鏡設計實現更加靈活的束流調節 。用戶可以在小束流的高分辨成像模式與大束流的分析模式之間進行無縫切換，對稱設計的EDS接口可讓您獲得無陰影的成分分布圖，而物鏡無漏磁設計可以讓您獲得無畸變的大面積EBSD花樣 。您還可以通過加裝各種原位實驗附件將Gemini 460升級為一個自動化原位實驗平臺 。
GeminiSEM 560搭載3型Gemini鏡筒，帶給用戶極致的高分辨成像體驗 。該款鏡筒擁有兩個可協同工作的電子光學系統：Nano-twin透鏡和新型電子光學引擎Smart Autopilot，可通過聚光鏡優化所有工作條件下的電子束會聚角，進一步提升分辨力；還可實現1倍到200萬倍的無縫過渡，大視野導航和亞納米成像一鏡到底 。
日本電子|場發射電鏡JSM-IT800半透鏡版本(i)/(is)

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