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中國市場電鏡新品匯總 電子顯微鏡價格( 二 )

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新型肖特基場發射掃描電子顯微鏡JSM-IT800
發布時間：8月31日
參考價格：200-400萬元
JSM-IT800 集成了用于高分辨率成像的透鏡內肖特基 Plus 場發射電子槍、創新的電子光學控制系統“Neo Engine”， 以及追求易用性的GUI“ SEM中心”可以完全整合JEOL 的x射線能譜儀 。
JSM-IT800 有五種不同物鏡版本：混合鏡頭版本 (HL)，這是一種通用 FE-SEM；超級混合鏡頭版本（SHLs/SHL，功能不同的兩個版本），可實現更高分辨率的觀察和分析；以及新開發的半透鏡版本（i/is，兩個不同功能的版本），適用于半導體器件的觀察 。
半透鏡通過在物鏡下方形成的強磁場透鏡會聚電子束來實現超高分辨率 。此外，該系統有效地收集從樣品發射的低能量二次電子，并使用上部透鏡內檢測器 (UID) 檢測電子 。因此，它可以對傾斜樣品和橫截面樣品進行高分辨率觀察和分析，這正是半導體器件故障分析所需的 。此外，它對于電壓對比度觀察也非常有用 。
聚束科技|高通量(場發射）掃描電子顯微鏡 Navigator-100B PLUS
高通量(場發射）掃描電子顯微鏡 Navigator-100B PLUS
發布時間：8月
參考價格：500-700萬元
成像速度在同等條件下是同類機型的10倍以上，可在72小時內以4nm 像素完成對10x10 mm2 區域的無遺漏采集 。新機型在硬件部分模組提升較大，配備新型電子槍，電子束落點能量范圍可達30keV，涵蓋絕大多數掃描電鏡落點能量需求范圍 。分辨率可達1.0nm (15keV下), 且在1-3kV低加速電壓下即可獲得1.5nm高分辨率的同時，仍能保持1‰以下的低圖像畸變 。具備高度智能化，包括簡單快捷全景光學導航、一鍵全自動換樣、全景光學導航、實時聚焦追蹤，可以實現全自動超大區域（100mm×100mm）全息地圖集式拍攝，并繪制成全景地圖式信息瀏覽 。
祺躍科技|原位高溫掃描電鏡
祺躍科技原位高溫掃描電鏡新品
【中國市場電鏡新品匯總 電子顯微鏡價格】發布時間：10月14日
新開發的掃描電鏡設計理念包括樣品室空間從緊湊到合理，樣品臺承載能力較大、成像探測器承溫能力提升、保證高真空足夠的抽氣能力等，達到追求時序信息的目標 。本次新品實現整機國產化的核心部件包括高溫二次電子探測器、三維移動平臺與大載荷拉伸平臺、1400度原位加熱器、超大結構樣品腔室和超高真空系統等 。保障電鏡極端環境長時間穩定運行的相關模塊包括冷阱、等離子清洗、極靴屏蔽、紅外測溫等 。同時兼容EDX和EBSD等，還預留設置了多種通訊接口，為今后拓展更多原位技術留有余地 。
日本電子|鎢燈絲掃描電鏡升級產品JSM-IT510
鎢燈絲掃描電子顯微鏡JSM-IT510
發布時間：11月8日
參考價格：130-200萬元
為了滿足基礎研究、工業現場對更快獲取結果數據等， JSM-IT510系列進一步提升了InTouchScope?的可操作性 。借助新增的Simple SEM功能，現在可以將日常工作 “交給”儀器 。主要特點包括：新型“Simple SEM”功能、最新型低真空二次電子探頭 (LHSED)、 掃描電鏡圖像和能譜的一體化、實時立體三維圖像、實時分析功能、新的導航放大功能、0 倍放大、顯示X射線產生區域、SMILE VIEW? Lab管理軟件等 。
Phenom|第二代肖特基場發射臺式掃描電鏡Phenom Pharos G2


飛納臺式場發射掃描電鏡 Phenom Pharos G2
發布時間：11月24日
參考價格：200-300萬元
Phenom Pharos G2, 集背散射電子成像、二次電子成像和能譜分析功能于一體 。高亮度肖特基場發射電子源，使用戶可以輕松獲得高分辨率圖像，且低電壓性能優異 。Pharos G2分辨率提升至1.8nm，采用熱場發射電子源，信噪比高，使用壽命長，保證長期穩定的性能 。飛納臺式場發射掃描電鏡能譜一體機標配背散射電子成像、二次電子電子成像和能譜分析功能，可對各種樣品進行高分辨成像及元素分析 。
日立|全新場發射掃描電鏡SU8600和SU8700
全新冷場發射掃描電鏡SU8600（左）和熱場發射掃描電鏡SU8700（右）
發布時間：12月9日
參考價格：250-400萬元
全新一代冷場發射掃描電鏡SU8600不光保留了日立傳統冷場電鏡的優點，還采用了新型冷場電子槍，可選擇更多種類的探測器，而且具有全新的自動數據獲取功能，這些技術的加入使得SU8600的成像、分析能力以及自動化性能都有了質的飛躍 。具體特點包括：強大自動化功能、成熟的電子光學系統、強大的圖像顯示和存儲、簡便的操作等 。
全新一代熱場發射掃描電鏡SU8700是一款集高分辨觀察、高效率分析、自動化操作等特點于一身的掃描電鏡 。全新的自動數據獲取功能，電子光學系統，多探頭檢測系統等技術的加入使得SU8700的成像和分析能力有了質的飛躍 。具體特點包括：強大的自動化功能、全新的電子光學系統、高效的分析能力、豐富的樣品適用性、簡便的操作等 。

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