關于深能級瞬態譜簡述 深能級瞬態譜


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1、深能級瞬態譜能檢測半導體中微量雜質、缺陷的深能級及界面態 。
2、通過深能級瞬態譜儀對樣品的溫度掃描,可以給出表征半導體禁帶范圍內的雜質、缺陷深能級及界面態隨溫度(即能量)分布的DLTS譜 。
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