我國能制造光刻機嗎


我國能制造光刻機 , 當前中國肯定是有自己的能力生產光刻機的 , 只是技術確實跟人家有一定的差別 。
【我國能制造光刻機嗎】光刻機又名:掩模對準曝光機 , 曝光系統 , 光刻系統等 。常用的光刻機是掩膜對準光刻 。一般的光刻工藝要經歷硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻膠、軟烘、對準曝光、后烘、顯影、硬烘、刻蝕等工序 。

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