涂膠、烘烤和顯影都是在勻膠顯影機中完成的，曝光是在光刻機中完成的 。勻膠顯影機和光刻機一般都是聯機作業的，晶圓通過機械手在各單元和機器之間傳送 。整個曝光顯影系統是封閉的，晶圓不直接暴露在周圍環境中，以減少環境中有害成分對光刻膠和光化學反應的影響 。
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這個復雜的過程使用了對紫外光敏感的化學物質，即遇紫外光則變軟 。通過控制遮光物的位置可以得到芯片的外形 。在硅晶片涂上光致抗蝕劑，使得其遇紫外光就會溶解 。這時可以用上第一份遮光物，使得紫外光直射的部分被溶解，這溶解部分接著可用溶劑將其沖走 。這樣剩下的部分就與遮光物的形狀一樣了，而這效果正是所要的 。
【芯片的含義 芯片是什么東西】下一個工序是摻加雜質，將晶圓中植入離子，生成相應的P、N類半導體 。具體工藝是從硅片上暴露的區域開始，放入化學離子混合液中 。經過上面的幾道工藝之后，晶圓上就形成了一個個格狀的晶粒 。通過針測的方式對每個晶粒進行電氣特性檢測 。將制造完成晶圓固定，綁定引腳，按照需求去制作成各種不同的封裝形式 。經過上述工藝流程以后，芯片制作就已經全部完成了，最后步驟是將芯片進行測試、剔除不良品，最后包裝上市 。
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