關于物理氣象淀積簡述 物理氣象淀積


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1、物理氣象淀積(PVD)指的是利用某種物理過程,例如蒸發或者濺射現象實現物質的轉移,即原子或分子由源轉移到襯底(硅)表面上 。
2、并淀積成薄膜 。
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